반도체히터
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작성자 최고관리자 작성일18-12-03 12:00 조회1,946회 댓글0건관련링크
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반도체히터
개요
반도체히터의 특징특징
반도체heater는 반도체 제조공정중 CVD, Etch
공정에 사용되는 반도체 장비의 핵심부품입니다.
반도체 실리콘 웨이퍼와 직접 컨택하면서 웨이퍼 전 영역을 균일하게 최소 온도편차를 유지하면서 가열하는것이 heater의 핵심기술 입니다.
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